光刻技术六十年
中国科学院微电子研究所，北京 100029； 中国科学院大学集成电路学院，北京 100049 当 今 世 界 离 不 开 信 息 产 业 ，信 息 产 业 离 不 开 半 导 体 集 成 电 路 芯 片 制 造 技 术 ，即 微 电 子 技 术 。
报告摘要
中国科学院微电子研究所，北京 100029； 中国科学院大学集成电路学院，北京 100049 当 今 世 界 离 不 开 信 息 产 业 ，信 息 产 业 离 不 开 半 导 体 集 成 电 路 芯 片 制 造 技 术 ，即 微 电 子 技 术 。
核心要点
- 0922031 -1
- 1980 年 左 右 有 人 预 言 ：光 刻 线 宽 不 可 能 小 于
- 1 μm。
- 1989 年又有人预言：到 1997 年光刻技术将走到
- 1994 年有个比较“乐观”的长期预测：2007 年
- 2. 1
报告信息
- 文件全名
- 《光刻技术六十年-21页.pdf》
- 适合读者
- 核心数据
- 与微/纳米加工技术是人类迄今为止所能达到的精度最高的加工技术。
- 1994 年有个比较“乐观”的长期预测：2007 年
- IC 最细线宽可以达到 0. 1 μm（保守预计为 0. 5 μm）。
- 这些预测都被光刻技术飞快前进的步伐远远
- 核心议题
常见问题
《光刻技术六十年》主要包含哪些内容?
中国科学院微电子研究所，北京 100029； 中国科学院大学集成电路学院，北京 100049 当 今 世 界 离 不 开 信 息 产 业 ，信 息 产 业 离 不 开 半 导 体 集 成 电 路 芯 片 制 造 技 术 ，即 微 电 子 技 术 。核心数据:与微/纳米加工技术是人类迄今为止所能达到的精度最高的加工技术。;1994 年有个比较“乐观”的长期预测：2007 年;IC 最细线宽可以达到 0. 1 μm（保守预计为 0. 5 μm）。。
这份报告由哪家机构发布?
本报告由中国科学院大学发布,发布于 2025 年。
这份报告覆盖哪一年、篇幅多大?
覆盖 2025 年,全文约 21。
这份报告是免费的吗?如何获取?
本报告免费查阅,登录资料宝后即可在线获取完整内容。
这份报告适合哪些读者?
适合战略规划、行业研究员等读者参考。
报告涉及哪些关键议题?
重点分析了集成电路等议题。
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